反应离子刻蚀机（NGP80 RIE）

2018-01-16 11:46:41

仪器名称	反应离子刻蚀机	仪器型号	NGP80 RIE
所属单位	中国科学技术大学	所属区域中心	合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心
制造商名称	Oxford instruments Plasma Technology	国别	英国
购置时间	2014/08/01	放置地点	科大西区特种楼群楼微纳米加工实验室
预约审核人		操作人员	荣皓,微纳中心
仪器工作状态	正常	预约形式	必须预约
预约类型	时间预约
仪器大类	工艺实验设备	仪器中类	工艺实验设备	仪器小类	加工工艺实验设备
仪器主要功能及描述	利用能与被刻蚀材料其化学反应的气体，通过辉光放电使之形成等离子体，对基底表面未被掩蔽部分进行刻蚀，主要用于刻蚀SiOx、SiNx材料，形成微纳米结构。
备注