微纳米薄膜表面形貌测量仪（KLA P-17）

2018-01-16 11:46:41

仪器名称	微纳米薄膜表面形貌测量仪	仪器型号	KLA P-17
所属单位	中国科学技术大学	所属区域中心	合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心
制造商名称	MICRONANO CO.,LTD	国别	美国
购置时间	2015/12/07	放置地点	科大西区特种楼群楼微纳米加工实验室
预约审核人		操作人员	荣皓,微纳中心
仪器工作状态	正常	预约形式	必须预约
预约类型	时间预约
仪器大类	工艺实验设备	仪器中类	工艺实验设备	仪器小类	加工工艺实验设备
仪器主要功能及描述	探针根据设定的扫描长度、速度和接触力在样品表面移动，由于表面有微小的峰谷使探针在移动的同时还沿峰谷做上下运动，探针的运动情况反映了样品表面的高度起伏变化。主要用于材料的结构及表面解析。主要技术指标扫描长度范围：200mm；垂直测量范围<1mm;探针压力：0.5-50mg；样品尺寸：最大6英寸；探针曲率半径：2um；重现性：4埃@1um标样键合。主要技术指标键合模式：压焊45°、压焊90°、球焊；样品台可加热；金丝、铝丝直径Φ25um；显微镜：0.8-4倍变焦，15倍目镜；
备注