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探针式台阶仪(Bruker-DektakXT)

2018-01-16 11:46:42

仪器名称 探针式台阶仪 仪器型号 Bruker-DektakXT
所属单位 中国科学技术大学 所属区域中心 合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心
制造商名称 Bruker 国别 美国
购置时间 2014/01/17 放置地点 科大西区特种楼群楼微纳米加工实验室
预约审核人 操作人员 微纳中心,荣皓
仪器工作状态 正常 预约形式 必须预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 工艺实验设备 仪器中类 工艺实验设备 仪器小类 加工工艺实验设备
仪器主要功能及描述 探针根据设定的扫描长度、速度与接触力在样品表面移动,随着样品表面起伏而上下变化,表征样品表面的起伏变化。主要用于测量台阶高度、样品表面粗糙度等。
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 固体、单晶或薄膜 薄膜厚度测量 用户指定 用户指定 120

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