RIE等离子刻蚀机（903e）

2018-01-18 09:45:09

仪器名称	RIE等离子刻蚀机	仪器型号	903e
所属单位	苏州纳米技术研究所	所属区域中心	上海材料与制造大型仪器区域中心
制造商名称	Allwin21 Corp.	国别	美国
购置时间	2012/09/14	放置地点	加工平台一楼102超净间
预约审核人	赵德胜,赵艳亮,孙天玉,张进成,龚亚飞,侯克玉,柏燕,程伟,梁庭,陈杰,崔志国,邓灿,陈林森,邓旭光,翟豪,董旭,董艳,范亚明,冯海通,付凯,付思齐,孔赤,李华,李恺燚,林文魁,刘彬,陆建斌,马苏州,缪小虎,倪旭东,黄河,代刚,黄宏娟,姜春宇,姬荣坤,吕伟明,赖建军,鞠涛,陶志福,王德稳,王鸿飞,王进,童恒义,王敏锐,王洋洋,王逸群,魏红霞,吴昀锋,邢政,熊敏,吴冬东,吴玉华,石瑞霞,时文华,孙国庆,胥燕,苏瑞巩,于国浩,俞挺,蔡佳林,曾春红,曾中明,张宝顺,张伟,张学敏,张忆先,张泽洪,张立国,张嫔,杨凡,杨磊,叶义军,宋亮,尹立航,鲁明,赵迎春,周丽萍,朱红燕,许蕾蕾,周文洪,卢荻克,陈兢,侯远,黄源清,黄荣,卢建娅,郭安波,余晖俊,赵康康,熊永忠,周久人,徐轶君,潘孟春,唐庆,吴卫东,江肖力,刘丰奎,李夏珺,沈僮棐,吴昆杰,张志利,郝一龙,任霄钰,黄春奎,马平,鲁微,朱琴,程强,姜利军,陆伟华,张珽,张珽,张宝顺,王永进,戴淑君,李宁,陈红梅,刘胜,陈建帆,金玉丰,康亭亭,谭明,孙雨舟,盛况,刘静静,王冬雨,王金延,袁洁,孙玉润,侯春彩,张志鹏,张以捷,李孝峰,周连群,张峰,吕金科,钟耀宗,柳俊文,欧阳伟伦,朱真,王婷婷,徐真逸,周阳,王璐璐,邓敏,冯美鑫,杜江峰,王高峰,赵美珍,曹俊诚,孙世闯,谢贵久,肖黎明,孙瑞泽	操作人员	黄河,孙天玉,程伟,陈杰,崔志国,董艳,邓灿,邓旭光,翟豪,董旭,范亚明,冯海通,付凯,付思齐,龚亚飞,侯克玉,李华,刘彬,李翔,陆建斌,马苏州,缪小虎,李恺燚,林文魁,黄宏娟,姜春宇,姬荣坤,鞠涛,孔赤,吴玉华,吴昀锋,石瑞霞,时文华,孙国庆,苏瑞巩,倪旭东,陶志福,王德稳,王鸿飞,王进,王敏锐,王洋洋,王逸群,魏红霞,吴冬东,曾春红,曾中明,张宝顺,张立国,张伟,叶义军,尹立航,于国浩,俞挺,邢政,熊敏,杨磊,张学敏,张忆先,张泽洪,赵德胜,赵艳亮,赵迎春,周丽萍,朱红燕
仪器工作状态	正常	预约形式	可不预约
预约类型	时间预约
仪器大类	工艺实验设备	仪器中类	工艺实验设备	仪器小类	加工工艺实验设备
仪器主要功能及描述
备注