电子束曝光机（JBX-5500ZA）

2018-01-18 09:45:08

仪器名称	电子束曝光机	仪器型号	JBX-5500ZA
所属单位	苏州纳米技术研究所	所属区域中心	上海材料与制造大型仪器区域中心
制造商名称	日本JEOL	国别	日本
购置时间	2008/12/31	放置地点	加工平台一楼104超净间
预约审核人	赵德胜,赵艳亮,孙天玉,龚亚飞,侯克玉,柏燕,程伟,陈杰,崔志国,邓灿,邓旭光,翟豪,董旭,董艳,范亚明,冯海通,付凯,付思齐,李华,李恺燚,林文魁,刘彬,陆建斌,马苏州,缪小虎,倪旭东,黄河,黄宏娟,姜春宇,姬荣坤,鞠涛,孔赤,陶志福,王德稳,王鸿飞,王进,王敏锐,王洋洋,王逸群,魏红霞,吴昀锋,邢政,熊敏,吴冬东,吴玉华,石瑞霞,时文华,孙国庆,苏瑞巩,于国浩,俞挺,曾春红,曾中明,张宝顺,张伟,张学敏,张忆先,张泽洪,张立国,张嫔,杨凡,杨磊,叶义军,尹立航,赵迎春,周丽萍,朱红燕	操作人员	孙天玉,翟豪,龚亚飞,王德稳,王逸群,张宝顺,张伟,尹立航,侯克玉
仪器工作状态	正常	预约形式	可不预约
预约类型	时间预约
仪器大类	工艺实验设备	仪器中类	工艺实验设备	仪器小类	加工工艺实验设备
仪器主要功能及描述
备注