| 仪器名称 | 反应离子金属刻蚀系统 | 仪器型号 | SYSTEM100 ICP180 |
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| 所属单位 | 中国科学技术大学 | 所属区域中心 | 合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | Oxford instruments Plasma Technology | 国别 | 英国 | ||
| 购置时间 | 2015/12/14 | 放置地点 | 科大西区特种楼群楼微纳米加工实验室 | ||
| 预约审核人 | 操作人员 | 微纳中心,荣皓 | |||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 必须预约 | ||
| 预约类型 | 时间预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 工艺实验设备 | 仪器小类 | 加工工艺实验设备 |
| 仪器主要功能及描述 | 通过电感耦合等离子体辉光放电分解反应气体，对样品表面进行物理轰击以及化学反应生成挥发性气体，达到对材料进行刻蚀的目的。主要用于惰性金属、三五族元素的微纳米结构刻蚀。 | ||||
| 备注 | |||||
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 片状、薄膜 | 刻蚀薄膜 | 用户指定 | 用户指定 | 700 |
激光粒度仪(理化中心)（MASTERSIZER 2000）
激光粒度分析仪（生态）（Mastersizer 2000）
渗透检测装置（JX/FPI.ZHI）
多功能超声检测系统（UTEX320、OMNI-IX-UT4、Omniscan PA16/128 ECT4）
1-高温电子蠕变持久试验机（css-3905）
树木年轮分析仪（Lintab6高精度版）
液氮发生器（教场园区）（STRILING-2）
纳米压印机(Hex-1) （HEX-01）
磁控溅射镀膜仪(Acs-4000) （ACS-4000-C4）
纳米粒度和ZETA电位分析仪（纳米区域中心）（Zetasizer Nano ZS ZEN3600）
LB6411中子剂量率探测器德国伯托BERTHOLD
LB6500-4-H10剂量率探头德国伯托BERTHOLD
LB761低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB134剂量率监测器德国伯托BERTHOLD
LB2046便携式αβ测量仪德国伯托BERTHOLD
LB761低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB790低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB1343污染测量仪德国伯托BERTHOLD
LB147手脚衣物污染监测仪德国伯托BERTHOLD
LB124SCINT便携式污染测量仪德国伯托BERTHOLD
