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椭偏仪(RTES GES5E)

2018-01-16 11:46:43

仪器名称 椭偏仪 仪器型号 RTES GES5E
所属单位 中国科学技术大学 所属区域中心 合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心
制造商名称 MicroNano.Co.,LTD 国别 匈牙利
购置时间 2014/08/26 放置地点 科大西区特种楼群楼微纳米加工实验室
预约审核人 操作人员 微纳中心,荣皓
仪器工作状态 正常 预约形式 必须预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 工艺实验设备 仪器中类 工艺实验设备 仪器小类 加工工艺实验设备
仪器主要功能及描述 椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空,使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 片状、薄膜 膜厚、光学常数及材料微结构测试 用户指定 用户指定 200

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