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扫描电子/聚焦离子束双束系统(SEM/FIB) (Nova200 NanoLab)

2018-01-23 15:14:56

仪器名称 扫描电子/聚焦离子束双束系统(SEM/FIB) 仪器型号 Nova200 NanoLab
所属单位 国家纳米科学中心 所属区域中心 北京物质和纳米科学大型仪器区域中心
制造商名称 荷兰,美国FEI公司 国别 美国
购置时间 2007/07/01 放置地点 东楼112
预约审核人 彭开武 操作人员 彭开武
仪器工作状态 正常 预约形式 必须预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 室内分析测试设备 仪器中类 显微镜及图象分析仪器 仪器小类 电子显微镜
仪器主要功能及描述 聚焦离子束加工,包括:离子束刻蚀,离子束沉积Pt,电子束沉积Pt。TEM样品制备。 电子束曝光
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 固体 电子束曝光 用户指定 用户指定 1000
2 固态 聚焦离子束加工 用户指定 用户指定 1500

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