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双束系统DualBeam 820 FIB/SEM Workstation(纳米区域中心)(FEI DB820)

2018-01-23 15:14:37

仪器名称 双束系统DualBeam 820 FIB/SEM Workstation(纳米区域中心) 仪器型号 FEI DB820
所属单位 电工研究所 所属区域中心 北京信息电子技术大型仪器区域中心
制造商名称 美国FEI 国别 美国
购置时间 2008/04/15 放置地点 2号楼105
预约审核人 李建国 操作人员 李建国
仪器工作状态 正常 预约形式 必须预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 工艺实验设备 仪器中类 电子与通信科学仪器设备 仪器小类 加工工艺实验设备
仪器主要功能及描述 高精度电子束测量和离子束刻蚀,型号:FEI DualBeam 820. FIB/SEM(离子束/电子束);最精准分辨率高达7nm;可同时提供FIB聚焦离子束切割修改与SEM电子束影像观察
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 固体 扫描电子显微镜观察/聚焦离子束加工 用户指定 用户指定 0
2 结构分析 样品表面形态及结构分析 用户指定 用户指定 0
3 固体样品 电学测试 用户指定 用户指定 0
4 固态 刻蚀 用户指定 用户指定 0

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