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PT ICP刻蚀系统(VersalineTM LL-DSE)

2018-01-23 15:13:57

仪器名称 PT ICP刻蚀系统 仪器型号 VersalineTM LL-DSE
所属单位 半导体研究所 所属区域中心 北京信息电子技术大型仪器区域中心
制造商名称 Plasma Therm 国别 美国
购置时间 2011/11/21 放置地点 集成中心
预约审核人 樊中朝 操作人员 颜伟,樊中朝
仪器工作状态 正常 预约形式 可不预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 工艺实验设备 仪器中类 工艺实验设备 仪器小类 电子工艺实验设备
仪器主要功能及描述
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 固态 刻蚀 用户指定 用户指定 300

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