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电子束蒸发台 EVA450(D)(EVA450)

2018-01-23 15:13:33

仪器名称 电子束蒸发台 EVA450(D) 仪器型号 EVA450
所属单位 微电子研究所 所属区域中心 北京信息电子技术大型仪器区域中心
制造商名称 法国 Alliance 国别 法国
购置时间 2003/08/03 放置地点 中科院微电子所
预约审核人 武伟超,吴嵩 操作人员 吴嵩,武伟超
仪器工作状态 正常 预约形式 必须预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 工艺实验设备 仪器中类 电子与通信科学仪器设备 仪器小类 通用电子测量仪器
仪器主要功能及描述
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 固态 薄膜蒸发 用户指定 用户指定 1000

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