半导体参数测试仪4200（A）（4200-SCS）

2018-01-23 15:13:26

仪器名称	半导体参数测试仪4200（A）	仪器型号	4200-SCS
所属单位	微电子研究所	所属区域中心	北京信息电子技术大型仪器区域中心
制造商名称	吉士利	国别	美国
购置时间	2003/01/16	放置地点	净化实验室
预约审核人	李晶	操作人员	王芳,李晶
仪器工作状态	正常	预约形式	必须预约
预约类型	时间预约
仪器大类	工艺实验设备	仪器中类	物理量测试仪器	仪器小类	其他物理量测试仪器
仪器主要功能及描述	4200-SCS 型半导体特性分析系统是用于器件、材料和半导体工艺参数分析的完整解决方案。这种先进的参数分析仪具有无可比拟的测量灵敏度和精度，同时融合嵌入式 Windows 操作系统和吉时利交互式测试环境，为半导体器件特性分析提供了直观的高级功能。它是一套功能强大的单机解决方案。源测量单元最大电压：210V 最大电流：100mA 最大功率：2W 技术数据条件： 23°C ±5°C，校准后一年内，相对湿度在5%到60%之间，预热30分钟后。工作温度范围：+10℃ ~+40℃ 贮存温度： -15℃ ~+60℃ 工作湿度：5%~80% RH，无冷凝贮存湿度：5%~90% RH，无冷凝工作高度：0~2000 米贮存高度：0~4600 米功率要求：100V~240V，50~60Hz 最大电压电流：1000VA 外观尺寸：43.6cm宽 x22.3cm高 x56.5cm深 (175 /32 英寸 x 8 3 /4 英寸 x 22 1 /4 英寸 ) 重量 ( 近似值 )：4 个 SMU 的典型配置为 29.7 公斤 (65.5 磅 ) I/O 端口：USB，SVGA，打印机，GPIB，以太网，鼠标，键盘
备注