ICP等离子体刻蚀机（Ⅲ-Ⅴ）（Plasmalab System 100 ICP180）

2018-01-18 09:45:12

仪器名称	ICP等离子体刻蚀机（Ⅲ-Ⅴ）	仪器型号	Plasmalab System 100 ICP180
所属单位	苏州纳米技术研究所	所属区域中心	上海材料与制造大型仪器区域中心
制造商名称	Oxford Instruments	国别	英国
购置时间	2009/09/16	放置地点	加工平台一楼102超净间
预约审核人	赵德胜,陈建帆,孙天玉,龚亚飞,侯克玉,柏燕,程伟,陈杰,崔志国,陈林森,邓灿,邓旭光,翟豪,董旭,董艳,范亚明,冯海通,付凯,付思齐,孔赤,李华,李恺燚,林文魁,刘彬,陆建斌,马苏州,缪小虎,倪旭东,黄河,代刚,黄宏娟,姜春宇,姬荣坤,吕伟明,鞠涛,陶志福,王德稳,王鸿飞,童恒义,王进,王敏锐,王洋洋,王逸群,魏红霞,宋亮,吴昀锋,邢政,熊敏,吴冬东,吴玉华,石瑞霞,时文华,孙国庆,苏瑞巩,于国浩,蔡佳林,俞挺,曾春红,曾中明,张宝顺,张伟,张学敏,张忆先,张泽洪,张立国,张嫔,胥燕,杨凡,梁庭,杨磊,叶义军,尹立航,周文洪,赵迎春,周丽萍,朱红燕,许蕾蕾,卢荻克,赵艳亮,鲁明,陈兢,侯远,郭安波,黄源清,黄荣,卢建娅,余晖俊,赖建军,赵康康,熊永忠,周久人,徐轶君,沈僮棐,唐庆,李夏珺,吴卫东,江肖力,潘孟春,吴昆杰,张志利,郝一龙,任霄钰,鲁微,刘丰奎,黄春奎,马平,朱琴,张进成,陆伟华,程强,姜利军,张珽,张宝顺,王永进,陈红梅,张珽,戴淑君,李宁,刘胜,盛况,金玉丰,孙雨舟,康亭亭,谭明,孙玉润,刘静静,王金延,袁洁,侯春彩,王冬雨,张志鹏,张以捷,周连群,钟耀宗,张峰,吕金科,柳俊文,李孝峰,欧阳伟伦,朱真,王婷婷,徐真逸,孙瑞泽,赵美珍,肖黎明,邓敏,周阳,王璐璐,杜江峰,冯美鑫,王高峰,曹俊诚,孙世闯,谢贵久	操作人员	黄河,孙天玉,程伟,陈杰,崔志国,董艳,邓灿,邓旭光,翟豪,董旭,范亚明,冯海通,付凯,付思齐,龚亚飞,侯克玉,李华,刘彬,李翔,陆建斌,马苏州,缪小虎,李恺燚,林文魁,黄宏娟,姜春宇,姬荣坤,鞠涛,孔赤,吴玉华,吴昀锋,石瑞霞,时文华,孙国庆,苏瑞巩,倪旭东,陶志福,王德稳,王鸿飞,王进,王敏锐,王洋洋,王逸群,魏红霞,吴冬东,曾春红,曾中明,张宝顺,张立国,张伟,叶义军,尹立航,于国浩,俞挺,邢政,熊敏,杨磊,张学敏,张忆先,张泽洪,赵德胜,赵艳亮,赵迎春,周丽萍,朱红燕
仪器工作状态	正常	预约形式	可不预约
预约类型	时间预约
仪器大类	工艺实验设备	仪器中类	工艺实验设备	仪器小类	加工工艺实验设备
仪器主要功能及描述
备注