光学轮廓仪（H）（MICRO XAM1200）

2018-01-18 09:43:51

仪器名称	光学轮廓仪（H）	仪器型号	MICRO XAM1200
所属单位	微电子研究所	所属区域中心	北京信息电子技术大型仪器区域中心
制造商名称	Kla Tencor	国别	中国
购置时间	2011/06/15	放置地点	微电子仪器设备中心实验室
预约审核人	任爱	操作人员	任爱
仪器工作状态	正常	预约形式	必须预约
预约类型	项目预约
仪器大类	工艺实验设备	仪器中类	工艺实验设备	仪器小类	其他工艺实验设备
仪器主要功能及描述	测量样品表面粗糙度，主要针对光滑表面，测量垂直分辨率是0.1nm，最大纵深为 1um。测量表面台阶高度，的最大高度可达 5mm。
备注