| 仪器名称 | 原子层沉积系统（纳米区域中心）（C） | 仪器型号 | BENEQ TFS200 |
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| 所属单位 | 微电子研究所 | 所属区域中心 | 北京信息电子技术大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | BENEQ OY | 国别 | 芬兰 | ||
| 购置时间 | 2008/06/19 | 放置地点 | 中国科学院微电子研究所 | ||
| 预约审核人 | 胡媛(审批),赵盛杰 | 操作人员 | 赵盛杰,胡媛(审批) | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 必须预约 | ||
| 预约类型 | 项目预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 工艺实验设备 | 仪器小类 | 加工工艺实验设备 |
| 仪器主要功能及描述 | |||||
| 备注 | |||||
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
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| 1 | 固态 | 非测试类设备，由于设备实际使用情况不适用于时间预约的，暂用项目预约。 | 用户指定 | 用户指定 | 0 |
激光粒度仪(理化中心)（MASTERSIZER 2000）
激光粒度分析仪（生态）（Mastersizer 2000）
渗透检测装置（JX/FPI.ZHI）
多功能超声检测系统（UTEX320、OMNI-IX-UT4、Omniscan PA16/128 ECT4）
1-高温电子蠕变持久试验机（css-3905）
树木年轮分析仪（Lintab6高精度版）
液氮发生器（教场园区）（STRILING-2）
纳米压印机(Hex-1) （HEX-01）
磁控溅射镀膜仪(Acs-4000) （ACS-4000-C4）
纳米粒度和ZETA电位分析仪（纳米区域中心）（Zetasizer Nano ZS ZEN3600）
LB6411中子剂量率探测器德国伯托BERTHOLD
LB6500-4-H10剂量率探头德国伯托BERTHOLD
LB761低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB134剂量率监测器德国伯托BERTHOLD
LB2046便携式αβ测量仪德国伯托BERTHOLD
LB761低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB790低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB1343污染测量仪德国伯托BERTHOLD
LB147手脚衣物污染监测仪德国伯托BERTHOLD
LB124SCINT便携式污染测量仪德国伯托BERTHOLD
