微探针台(模块、PCB) （I）（SUMMIT 11000 B-S）

2018-01-18 09:42:23

仪器名称	微探针台(模块、PCB) （I）	仪器型号	SUMMIT 11000 B-S
所属单位	微电子研究所	所属区域中心	北京信息电子技术大型仪器区域中心
制造商名称	Cascade	国别	美国
购置时间	2011/09/15	放置地点	系统封装实验室二层
预约审核人	张绪	操作人员	张绪
仪器工作状态	正常	预约形式	可不预约
预约类型	时间预约
仪器大类	工艺实验设备	仪器中类	工艺实验设备	仪器小类	其他工艺实验设备
仪器主要功能及描述	设备特点：具有200 mm的晶圆探测能力；可用于器件的RF特性测试、晶圆级可靠性测试；通过安装不同规格的探针，可测试具有不同线距（ 50 μm-1250 μm ）、不同结构的传输线，如GS/SG、GSG、GSSG等。
备注