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多晶硅低压化学气相淀积系统(8寸 J)(BTU41)

2018-01-18 09:42:12

仪器名称 多晶硅低压化学气相淀积系统(8寸 J) 仪器型号 BTU41
所属单位 微电子研究所 所属区域中心
制造商名称 镭射公司 国别 中国
购置时间 2012/01/04 放置地点 净化楼2楼平台
预约审核人 王瑞,蒋浩杰,曲扬 操作人员 曲扬,蒋浩杰,王瑞
仪器工作状态 正常 预约形式 必须预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 工艺实验设备 仪器中类 工艺实验设备 仪器小类 其他工艺实验设备
仪器主要功能及描述
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 固体 产品性能分析 用户指定 用户指定 0

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