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电子束光刻E-beam(Raith150-Two)

2018-01-18 09:41:53

仪器名称 电子束光刻E-beam 仪器型号 Raith150-Two
所属单位 苏州生物医学工程技术研究所 所属区域中心
制造商名称 Raith 国别 法国
购置时间 2011/12/06 放置地点 2#楼一层洁净室
预约审核人 李传宇 操作人员 李传宇
仪器工作状态 正常 预约形式 必须预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 工艺实验设备 仪器中类 工艺实验设备 仪器小类 电子工艺实验设备
仪器主要功能及描述
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 基板 电子束刻蚀 用户指定 用户指定 800

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