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电子束纳米加工装置(CABL-9500C)

2018-01-18 09:40:56

仪器名称 电子束纳米加工装置 仪器型号 CABL-9500C
所属单位 上海应用物理研究所 所属区域中心 上海材料与制造大型仪器区域中心
制造商名称 Crestec Corporation 国别 日本
购置时间 2012/10/01 放置地点 软X射线干涉光刻线站
预约审核人 王连升 操作人员 王连升
仪器工作状态 维修 预约形式 可不预约
预约类型 项目预约    
仪器大类 工艺实验设备 仪器中类 工艺实验设备 仪器小类 加工工艺实验设备
仪器主要功能及描述
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 固体 电子束光刻 用户指定 用户指定

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