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PECVD非晶硅淀积设备 (8寸)(J)(MiniLock III )

2018-01-18 09:40:41

仪器名称 PECVD非晶硅淀积设备 (8寸)(J) 仪器型号 MiniLock III
所属单位 微电子研究所 所属区域中心 北京信息电子技术大型仪器区域中心
制造商名称 德国SUSS 国别 德国
购置时间 2012/05/31 放置地点 净化楼2楼平台
预约审核人 王瑞,张浩,曲扬 操作人员 曲扬,王瑞,张浩
仪器工作状态 正常 预约形式 可不预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 工艺实验设备 仪器中类 工艺实验设备 仪器小类 其他工艺实验设备
仪器主要功能及描述
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 固态 薄膜沉积 用户指定 用户指定 0

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