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XeF2气相腐蚀设备(8寸)(J)(Xactix Xtech X4)

2018-01-18 09:40:41

仪器名称 XeF2气相腐蚀设备(8寸)(J) 仪器型号 Xactix Xtech X4
所属单位 微电子研究所 所属区域中心 北京信息电子技术大型仪器区域中心
制造商名称 美国/Xactix 国别 德国
购置时间 2012/10/24 放置地点 净化间
预约审核人 王瑞,曲扬,赵玉印 操作人员 赵玉印,王瑞
仪器工作状态 正常 预约形式 可不预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 工艺实验设备 仪器中类 工艺实验设备 仪器小类 其他工艺实验设备
仪器主要功能及描述
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 固态 硅材料牺牲层释放 用户指定 用户指定 0

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