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微操作低温探针台-半导体特征参数分析仪(CRX-4K, 4200-SCS)

2018-01-18 09:38:28

仪器名称 微操作低温探针台-半导体特征参数分析仪 仪器型号 CRX-4K, 4200-SCS
所属单位 理化技术研究所 所属区域中心 北京物质和纳米科学大型仪器区域中心
制造商名称 Lake Shore Cryotronics, Inc 国别 美国
购置时间 2013/09/25 放置地点 理化技术研究所1号楼121
预约审核人 陆珩 操作人员 陆珩
仪器工作状态 正常 预约形式 必须预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 工艺实验设备 仪器中类 物理量测试仪器 仪器小类 光电测量仪器
仪器主要功能及描述 该闭式循环制冷探针台无需制冷剂,能够提供5.6K至670K的变温真空环境。所配备的电学、光学通道,结合光学激发/探测模块、半导体特征参数测试仪Keithley 4200-SCS,适用于变温条件下对于样品光电、介电等物性的表征、研究。 温度范围5.6K~670K;真空度可达5×10-4 torr;配备探针BeCu 3, 10, 25μm半径,Wu 25μm半径,应用频率可达1GHz; 激光光源:450nm (100mW), 532nm (80mW), 660nm (100mW); 溴钨灯源:250W,350nm~2500nm,光斑直径80mm; 单色仪:200nm~2500nm,分辨率0.1nm; Keithley 4200-SCS:I-V测试模块:0-200V,电压分辨率1mV,电流分辨率0.1fA,4路通道;C-V测试:1kHz-10MHz,测试电容范围1pF-1mF,精度±0.1%;双通道快速I-V模块:电压范围0-40V,电流范围0-800mA,脉冲输出分辨率20ns
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 块材、薄膜 直流I-V测试 用户指定 用户指定 450
2 块材、薄膜 电容电压C-V测试 用户指定 用户指定 450
3 块材、薄膜 超快Pulsed I-V测试 用户指定 用户指定 450
4 块材、薄膜 光激发测试 用户指定 用户指定 100

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