ICP刻蚀机（SYSTEM100 ICP380）

2018-01-16 11:46:50

仪器名称	ICP刻蚀机	仪器型号	SYSTEM100 ICP380
所属单位	中国科学技术大学	所属区域中心	合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心
制造商名称	Oxford instruments Plasma Technology	国别	英国
购置时间	2013/05/27	放置地点	科大西区特种楼群楼微纳米加工实验室
预约审核人		操作人员	荣皓,微纳中心
仪器工作状态	正常	预约形式	必须预约
预约类型	时间预约
仪器大类	工艺实验设备	仪器中类	工艺实验设备	仪器小类	加工工艺实验设备
仪器主要功能及描述	通过电感耦合等离子体辉光放电分解反应气体，对样品表面进行物理轰击以及化学反应生成挥发性气体，达到刻蚀目的。主要用于硅（高深宽比）、氧化硅、SOI、SiC等微纳米结构刻蚀。
备注