蒸发HF刻蚀系统（UETCH-SYS）

2018-01-16 11:46:48

仪器名称	蒸发HF刻蚀系统	仪器型号	UETCH-SYS
所属单位	中国科学技术大学	所属区域中心	合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心
制造商名称	SPTS Technologies	国别	美国
购置时间	2015/11/12	放置地点	科大西区特种楼群楼微纳米加工实验室
预约审核人		操作人员	荣皓,微纳中心
仪器工作状态	正常	预约形式	必须预约
预约类型	时间预约
仪器大类	工艺实验设备	仪器中类	工艺实验设备	仪器小类	加工工艺实验设备
仪器主要功能及描述	通过无水乙醇的催化作用，HF气体与SiO2反应生成可挥发的产物SiF4和气态H2O，并通过真空排风抽走。整个反应过程不生成液态水，避免了液体对悬空微纳结构的粘连，从而可以成功释放悬空的微纳米结构。主要用于悬臂梁及其他悬空微纳米结构和SiO2牺牲层的释放刻蚀。
备注