等离子体去胶机（PlasmaStar200）

2018-01-16 11:46:47

仪器名称	等离子体去胶机	仪器型号	PlasmaStar200
所属单位	中国科学技术大学	所属区域中心	合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心
制造商名称	Saratoga Technology International	国别	美国
购置时间	2013/05/20	放置地点	科大西区特种楼群楼微纳米加工实验室
预约审核人		操作人员	微纳中心,荣皓
仪器工作状态	正常	预约形式	必须预约
预约类型	时间预约
仪器大类	工艺实验设备	仪器中类	工艺实验设备	仪器小类	加工工艺实验设备
仪器主要功能及描述	通过在反应腔内布置的电极之间产生辉光放电现象，使得工艺气体被电离成为带电等离子体，促进光刻胶与工艺气体的反应生成可挥发物质，从而达到干法去除光刻胶的目的。主要用于光刻胶的剥离，材料的表面处理与表面改性等。
备注