反射式光谱膜厚仪（SRM300）

2018-01-16 11:46:43

仪器名称	反射式光谱膜厚仪	仪器型号	SRM300
所属单位	中国科学技术大学	所属区域中心	合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心
制造商名称	美国 Angstrom Sun	国别	美国
购置时间	2013/12/06	放置地点	科大西区特种楼群楼微纳米加工实验室
预约审核人		操作人员	微纳中心,荣皓
仪器工作状态	正常	预约形式	必须预约
预约类型	时间预约
仪器大类	工艺实验设备	仪器中类	工艺实验设备	仪器小类	加工工艺实验设备
仪器主要功能及描述	反射式光谱膜厚仪利用薄膜表面或界面的反射光会与从基底的反射光相干涉，干涉的发生与膜厚及折光系数等有关，因此可通过计算得到薄膜的厚度；是一种无损、精确且快速的光学薄膜厚度测量技术。主要技术指标可以测量最大5层重叠薄膜的厚度和折射率；可测量如氧化物，氮化物，光阻，导电玻璃，聚合物和半导体薄膜等透明或半透明薄膜；对特定的介电质测量厚度范围50nm-150um；测量波长范围350-1450nm；测量精度：对特定材料小于厚度的1%；样品尺寸：最大8英寸；样品厚度：最大2cm；定位精度约1um；有完备的光学参数数据库可供调用
备注