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二元曝光机(ABM/6/350/NUV/DCCD/BSV/M)

2018-01-15 10:40:03

仪器名称 二元曝光机 仪器型号 ABM/6/350/NUV/DCCD/BSV/M
所属单位 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 所属区域中心
制造商名称 ABM 国别 美国
购置时间 2014/12/31 放置地点 南一洁净室
预约审核人 高镱萌 操作人员 高镱萌,高镱萌-南超
仪器工作状态 正常 预约形式 必须预约
预约类型 项目预约    
仪器大类 工艺实验设备 仪器中类 工艺实验设备 仪器小类 电子工艺实验设备
仪器主要功能及描述
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 固体 光刻加工 用户指定 用户指定 700

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