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激光干涉仪3(Zygo Verifire QPZ 6)

2018-01-11 16:40:00

仪器名称 激光干涉仪3 仪器型号 Zygo Verifire QPZ 6
所属单位 光电研究院 所属区域中心 北京信息电子技术大型仪器区域中心
制造商名称 Zygo 国别 美国
购置时间 2015/04/23 放置地点 一楼洁净间
预约审核人 苏佳妮 操作人员 苏佳妮
仪器工作状态 正常 预约形式 免预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 工艺实验设备 仪器中类 电子与通信科学仪器设备 仪器小类 通用电子测量仪器
仪器主要功能及描述 针对光学元件/部分光学系统的反射面波像差及透射面波像差进行检测,软件可以给出三维或二维波前图,并计算出泽尼克系数。本设备最大测量口径为150mm
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 光学系统 面形误差 用户指定 用户指定 2000

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