超高真空分子束沉积系统（Cubic MBE）

2018-01-09 15:52:00

仪器名称	超高真空分子束沉积系统	仪器型号	Cubic MBE
所属单位	强磁场科学中心	所属区域中心	合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心
制造商名称	费勉仪器	国别	中国
购置时间	2015/11/30	放置地点	小白房127
预约审核人	曹亮	操作人员	曹亮
仪器工作状态	正常	预约形式	必须预约
预约类型	时间预约
仪器大类	工艺实验设备	仪器中类	工艺实验设备	仪器小类	材料工艺实验设备
仪器主要功能及描述	仪器描述：腔体极限真空5x10-9torr，配备快速进样室(load lock)，在不暴露大气的条件下实现样品的传输; 石英晶体膜厚仪，用于薄膜沉积速率的测量；高温蒸发源两个，温度范围100 ～ 1100℃/1500℃ (扩展接口6个)。样品架加热温度25~600℃。样品架设计有掩模卡槽用于掩膜的原位更换。功能： (i)样品的真空退火。 (ii)配备多个蒸发源，可用于有机分子薄膜的制备、金属（氧化物）薄膜的制备及器件金属电极的蒸镀。 (iii)自旋电子学器件的原位制备。 (iv)系统可与多种高真空分析系统(光电子能谱、扫描隧道显微镜)连接，用于薄膜原位生长及表征。
备注