仪器名称:化学气相沉积与高温热丝系统
仪器型号:PE/DC-CVD 400a
仪器类型:其他
应用领域:材料科学
所属单位:河北师范大学
仪器产地:中国
仪器价值:33万
仪器购买时间:2008-12-31
主要技术指标
极限真空度8×10-5 Pa;系统真空检漏漏率5.0×10-7 Pa。L/S ;停泵关机12小时后真空度(Pa)≤10pa
主要功能/应用范围
沉积、热丝化学气相沉积及高温化学气相沉积四种沉积方法。可制备非晶硅、多晶硅、类金刚石等薄膜。
服务内容
气相生长Si、Ge、C及其化合物
服务的典型成果
支持了学院多项国家及省级科研基金项目成果
对外开放共享规定
按照学校制定的大型仪器设备对外开放共享管理办法进行对外开放。
参考收费标准
收费标准 ( 校内、校外 ) 气体费用自付 校外:100元/小时 校内:40元/小时 院内:10元/小时负责人: 潘成福 联系电话:86268475 E-mail:Panchnegfu462@sohu.com
共享仪器单位信息仪器联系人:
潘成福
联系电话:
0311-86268475
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