首页 > 共享仪器设备

化学气相沉积与高温热丝系统(PE/DC-CVD 400a)

2017-12-15 10:38:02
化学气相沉积与高温热丝系统 [型号:PE/DC-CVD  400a]

仪器名称:化学气相沉积与高温热丝系统

仪器型号:PE/DC-CVD 400a

仪器类型:其他

应用领域:材料科学

所属单位:河北师范大学

仪器产地:中国

仪器价值:33万

仪器购买时间:2008-12-31

主要技术指标

极限真空度8×10-5 Pa;系统真空检漏漏率5.0×10-7 Pa。L/S ;停泵关机12小时后真空度(Pa)≤10pa

主要功能/应用范围

沉积、热丝化学气相沉积及高温化学气相沉积四种沉积方法。可制备非晶硅、多晶硅、类金刚石等薄膜。

服务内容

气相生长Si、Ge、C及其化合物

服务的典型成果

支持了学院多项国家及省级科研基金项目成果

对外开放共享规定

按照学校制定的大型仪器设备对外开放共享管理办法进行对外开放。

参考收费标准

收费标准 ( 校内、校外 ) 气体费用自付 校外:100元/小时 校内:40元/小时 院内:10元/小时负责人: 潘成福 联系电话:86268475 E-mail:Panchnegfu462@sohu.com

共享仪器单位信息

仪器联系人:

潘成福

联系电话:

0311-86268475

电子邮箱:

传  真:

相关内容

推荐产品

最新资讯

最新产品

首页
电话联系