![微晶硅薄膜高速沉积系统 [型号:4室PECVD，8*10（-5）Pa 非标]](http://www.so17.cc/d/file/2017/58a0b903f3a4587ec9a7d83223dd31cd.jpg)
仪器名称：微晶硅薄膜高速沉积系统
仪器型号：4室PECVD，8*10（-5）Pa 非标
仪器类型：电子产品通用工艺实验设备
应用领域：物理学材料科学
所属单位：河北大学
仪器产地：中国
仪器价值：225.95万
仪器购买时间：2013-12-26
主要技术指标
4室PECVD，真空度≤8*10-5Pa
主要功能/应用范围
微晶/非晶硅基薄膜，硅基化合物薄膜等PECVD沉积
服务内容
暂无
服务的典型成果
暂无
对外开放共享规定
不共享
参考收费标准
暂无
共享仪器单位信息仪器联系人：
刘海旭
联系电话：
0312-5079560
电子邮箱：
传 真：
自动溶剂清洗机（SBU250SC）
全自动核酸提取仪（AU1001S）
荧光正置显微镜（BX53）
气相色谱仪（Acme 6100 GC）
荧光定量PCR仪（ABI 7300）
流式细胞仪（BD-FACScalibur）
荧光倒置显微镜（Ti-S）
微生物自动测量分析仪（8波长，1-200样/次 FP-1100-C）
自动微生物鉴定系统（波长400-750nm，读数时间5秒 Migostatior III）
可编程式快速温变试验箱（ECT-408）
LB6411中子剂量率探测器德国伯托BERTHOLD
LB6500-4-H10剂量率探头德国伯托BERTHOLD
LB761低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB134剂量率监测器德国伯托BERTHOLD
LB2046便携式αβ测量仪德国伯托BERTHOLD
LB761低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB790低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB1343污染测量仪德国伯托BERTHOLD
LB147手脚衣物污染监测仪德国伯托BERTHOLD
LB124SCINT便携式污染测量仪德国伯托BERTHOLD
