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等离子体增强CVD系统（500℃±1℃/≤8*10(-6Pa PECVD-Ⅱ）

2017-12-15 10:30:31

等离子体增强CVD系统 [型号:500℃±1℃/≤8*10(-6Pa PECVD-Ⅱ]

仪器名称：等离子体增强CVD系统

仪器型号：500℃±1℃/≤8*10(-6Pa PECVD-Ⅱ

仪器类型：电真空器件工艺实验设备

应用领域：物理学材料科学

所属单位：河北大学

仪器产地：中国

仪器价值：148.03万

仪器购买时间：2010-03-17

主要技术指标

500℃±1℃，真空≤8*10-6Pa。

主要功能/应用范围

制备硅基光伏材料和器件。

服务内容

暂无

服务的典型成果

暂无

对外开放共享规定

不共享

参考收费标准

暂无

共享仪器单位信息

仪器联系人：

田晓东

联系电话：

13313238351

电子邮箱：

传　　真：

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