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HFCVD金刚石膜沉积(HFCAD-80)

2017-12-15 09:50:18
HFCVD金刚石膜沉积 [型号:HFCAD-80]

仪器名称:HFCVD金刚石膜沉积

仪器型号:HFCAD-80

仪器类型:半导体集成电路工艺实验设备

应用领域:电子与通信技术材料科学

所属单位:河北工业大学

仪器产地:中国

仪器价值:33.2万

仪器购买时间:2011-01-01

主要技术指标

80/5Pa以下真空度

主要功能/应用范围

可在晶圆表面镀膜。

服务内容

具体请跟机主老师联系

服务的典型成果

为校内外师生提供测试服务

对外开放共享规定

只提供送样测试服务

参考收费标准

具体请跟机主老师联系

共享仪器单位信息

仪器联系人:

高宝红

联系电话:

022-60201604

电子邮箱:

传  真:

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