在此应用说明中,以具体图示说明分析了线切割工艺前后磨料浆的分析结果以及样品颗粒。马尔文FPIA 3000 可以用于监测在将硅块切成晶片的线切割工艺中磨料浆的质量变化。定
量分析能够监测无用颗粒的存在。这样就能决定何时从生产工艺中取出浆料并将其送往循环系统。此外,FPIA 3000 系统还可以用于监测循环工艺,以便确保无用颗粒的成功去除。
来源:实验与分析LB6411中子剂量率探测器德国伯托BERTHOLD
LB6500-4-H10剂量率探头德国伯托BERTHOLD
LB761低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB134剂量率监测器德国伯托BERTHOLD
LB2046便携式αβ测量仪德国伯托BERTHOLD
LB761低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB790低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB1343污染测量仪德国伯托BERTHOLD
LB147手脚衣物污染监测仪德国伯托BERTHOLD
LB124SCINT便携式污染测量仪德国伯托BERTHOLD