美国Teledyne API高纯度水冷臭氧发生器OG-5000

产品介绍

产品名称: 高纯度水冷臭氧发生器

 

型号系列:OG-5000系列

 

品牌:Teledyne API

 

产地:美国

 

价格:**终成交价格需联系客服

 

订货号:OG-5000系列

 

Teledyne API OG-5000系列-高纯度水冷臭氧发生器概述:

 OG-5000系列臭氧发生器是为满足半导体工业中对高浓度洁净臭氧的需求而设计的，可应用于化学气相沉积、原子层沉积、氧化物生长和湿法处理过程中。

 

OG-5000系列设计紧凑，使用水冷系统，能够简便的整合进TAPI的臭氧系统控制器、臭氧泄露探测器、臭氧浓度监测器和臭氧破坏器中。该仪器经过验证的技术使得它可广泛应用于半导体流程中。​​

 

Teledyne API OG-5000系列-高纯度水冷臭氧发生器特征:

高纯度臭氧

高臭氧浓度

价格低

无消耗品

设计紧凑，模块化

经过验证的技术

Teledyne API OG-5000系列-高纯度水冷臭氧发生器应用:

半导体

化学气相沉积 (CVD)

原子层沉积 (ALD)

氧化物生长

表面处理

粒子清洁

光刻胶去除

灰化

其他

Teledyne API OG-5000系列-高纯度水冷臭氧发生器规格:

 

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