货号:S2702
型号:HPG400
价格:¥ 电联
半导体制造、电子工业和媒体工业中的溅镀应用
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河北恒仪电子科技有限公司
产品名称:INFICON大气压到高真空真空计HPG400
产地:美国
型号:HPG400
INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中,可测量 2×10-6 mbar 至大气气压(1.5×10-6 Torr 至大气气压)范围内的压力。HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量,实现精确控制镀溅过程压力。
好处
HPG400 可节省成本和工具空间,降低真空系统的安装与设置的复杂性
高压热电离可以准确可靠地测量 1 X 10-5 至 1 mbar 范围内的压力,进而改善过程控制
用户可选的热电离发射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之间启动
皮拉尼联锁保护丝极,防止过早烧毁
备有可选的图形显示器和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预
符合 RoHS 标准
典型应用
半导体制造、电子工业和媒体工业中的溅镀应用
工业镀膜
低真空至高真空范围内的一般真空测量和控制
美国INFICON旋转馈入装置ISO-KF
美国INFICON旋转直线运动馈入装置F
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美国INFICON直线运动馈入装置CF-FP
美国INFICON直线运动馈入装置CF-FP
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美国INFICONUHV 可烘烤传感器BK-A0
美国INFICONCrystal12传感器XL12-0
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美国INFICONRSH-600 旋转式传感器1
LB6411中子剂量率探测器德国伯托BERTHOLD
LB6500-4-H10剂量率探头德国伯托BERTHOLD
LB761低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
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LB124SCINT便携式污染测量仪德国伯托BERTHOLD