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美国INFICON射频检测器SION

美国INFICON射频检测器SION

货号:S2698

型号:SION

价格:¥ 电联

无创卡箍式射频检测仪可在 iPVD、PECVD 和蚀刻应用中实现高速电弧检测

购买联系:13439104997 拨打

河北恒仪电子科技有限公司

产品介绍

产品名称:INFICON射频检测器SION

品牌:美国INFICON

产地:美国

型号:SION

美国INFICON射频检测器SION

无创卡箍式射频检测仪可在 iPVD、PECVD 和蚀刻应用中实现高速电弧检测

减少晶圆损失,提高产出

等离子体加工期间的电弧放电可造成靶和腔室损坏,因而导致基材受损并形成颗粒。随着特征尺寸的下降,微电子设备越来越容易出现电弧引发的损坏。电弧放电可出现在任何等离子辅助过程中,例如电离物理气相沉积 (iPVD)、等离子增强化学气相沉积 (PECVD) 和蚀刻。INFICON Sion 弧检测器可提供至关重要的**道防线。Sion 能够快速检测到微弧并在明显损伤或废料出现之前对其作出反应。系统可对等离子微电弧事件进行实时检测和分析。

美国INFICON射频检测器SION

功能

 

便于改装到现有工具箱中

非侵入式传感器安装

高速数据采集 (250 kHz)

与 FabGuard 相集成的数据管理 

美国INFICON射频检测器SION

产品购买联系

北京恒仪科技有限公司 | 河北恒仪电子科技有限公司

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产品标签:美国INFICON   射频检测器   SION

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