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美国INFICON紧凑型过程监控器Transpector CPM3

美国INFICON紧凑型过程监控器Transpector CPM3

货号:S2679

型号:Transpector CPM3

价格:¥ 电联

快速、现场就绪过程监测系统

购买联系:13439104997 拨打

河北恒仪电子科技有限公司

产品介绍

产品名称:INFICON紧凑型过程监控器Transpector CPM3

品牌:美国INFICON

产地:美国

型号:Transpector CPM3

美国INFICON紧凑型过程监控器Transpector CPM3

快速、现场就绪过程监测系统

性能、可靠性和通用性

 

十多年来,INFICON Transpector CPM 一直是半导体行业市场**的残余气体分析仪 (RGA) 过程监测系统。现在,Transpector CPM 3 通过集成经实践验证的泵送和进口系统与新型传感器和电子元件,达到业内**的测量速度和灵敏度。Transpector CPM 3 是新型和现有半导体过程(例如,ALD、CVD、PVD 和蚀刻)的理想 RGA 过程监控器。

Transpector CPM 3 通过以下特性为合作伙伴提供经实践证实的投资回报率:

 

业内**的测量技术

稳健的适应性架构

易于维护

出色的产品支持

美国INFICON紧凑型过程监控器Transpector CPM3

美国INFICON紧凑型过程监控器Transpector CPM3功能:

 

ALD、蚀刻、CVD 和 300 mm 除气残余气体分析仪 — 实现实时过程监测和分析

ALD 就绪,测量速度为每点 1.8 ms(每秒 555 点)

在大多数苛刻 CVD 和蚀刻应用中,展现出经实践验证的耐久性和可靠性

应用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 软件,由 INFICON **应用专家提供支持,是一款强大的过程监测与诊断工具

紧凑尺寸 — 允许轻松集成到半导体生产设备

Hexblock™ 含三个压力进口并减少表面积,以**小化表面反应时间和响应时间

电容隔膜计 (CDG) — CDG 允许用户监测过程压力,并自动保护系统不出现压力偏移

自动校准 — 确保长期数据稳定性和精度,以便进行各传感器和工具的腔室匹配

 美国INFICON紧凑型过程监控器Transpector CPM3

产品购买联系

北京恒仪科技有限公司 | 河北恒仪电子科技有限公司

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