美国Teledyne API臭氧发生器控制器SCI-552

产品介绍

产品名称: 美国Teledyne API臭氧发生器控制器SCI-552

型号系列:SCI-552

品牌:Teledyne API

产地:美国

价格:**终成交价格需联系客服

订货号:SCI-552

Teledyne API臭氧发生器控制器SCI-552概述:

 SCI-552是臭氧输送系统的控制器，能够为很多系统部件提供电气控制界面，包括：臭氧发生器、EV阀、质量流量计、背压控制器、TAPI452臭氧传感器、 TAPI 470 溶解臭氧传感器和水冷却器。SCI-552基于软硬件特点，提供了很多系统联锁功能，它灵活性高，允许用户通过前面板用户界面、MODBUS串行接口或各种离散型数字和模拟输入来控制整个系统。SCI-552能够支持两台臭氧发生器并提供两条独立的臭氧输出渠道。​

Teledyne API臭氧发生器控制器SCI-552特征:

RS-232 MODBUS远程支持

控制2台臭氧发生器

与2台452和470臭氧测量仪器交互

控制4台质量流量控制器

控制2台背压控制器

控制2个EV阀

控制1台水冷却器

系统联锁输入

远程系统级别控制和状态输入/输出

Teledyne API臭氧发生器控制器SCI-552应用:

化学气相沉积(CVD)

原子层沉积(ALD)

氧化物生长

表面处理

灰化

粒子清洁

光刻胶去除

其他

Teledyne API臭氧发生器控制器SCI-552规格: