美国INFICON射频检测器SION

产品介绍

产品名称：INFICON射频检测器SION

品牌：美国INFICON

产地：美国

型号：SION

无创卡箍式射频检测仪可在 iPVD、PECVD 和蚀刻应用中实现高速电弧检测

减少晶圆损失，提高产出

等离子体加工期间的电弧放电可造成靶和腔室损坏，因而导致基材受损并形成颗粒。随着特征尺寸的下降，微电子设备越来越容易出现电弧引发的损坏。电弧放电可出现在任何等离子辅助过程中，例如电离物理气相沉积 (iPVD)、等离子增强化学气相沉积 (PECVD) 和蚀刻。INFICON Sion 弧检测器可提供至关重要的**道防线。Sion 能够快速检测到微弧并在明显损伤或废料出现之前对其作出反应。系统可对等离子微电弧事件进行实时检测和分析。

功能

便于改装到现有工具箱中

非侵入式传感器安装

高速数据采集 (250 kHz)

与 FabGuard 相集成的数据管理