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亚微米紫外光刻掩模对准系统(纳米区域中心)(MA6)

2018-01-23 15:14:23

仪器名称 亚微米紫外光刻掩模对准系统(纳米区域中心) 仪器型号 MA6
所属单位 物理研究所 所属区域中心 北京物质和纳米科学大型仪器区域中心
制造商名称 德国Suss MicroTec Gmbh 国别 德国
购置时间 2001/11/27 放置地点 C101E
预约审核人 全保刚 操作人员 全保刚,谭福涛,金爱子
仪器工作状态 正常 预约形式 可不预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 室内分析测试设备 仪器中类 波谱仪器 仪器小类 其他波谱仪器
仪器主要功能及描述
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 固体 曝光 用户指定 用户指定 0

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