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反应离子刻蚀系统(纳米区域中心)(Plasmalab 80 plus)

2018-01-23 15:14:22

仪器名称 反应离子刻蚀系统(纳米区域中心) 仪器型号 Plasmalab 80 plus
所属单位 物理研究所 所属区域中心 北京物质和纳米科学大型仪器区域中心
制造商名称 英国Oxford Instruments Plasma Technology 国别 英国
购置时间 2001/12/05 放置地点 C101E
预约审核人 耿广州,夏晓翔,刘哲 操作人员 谭福涛,金爱子,刘哲,耿广州,夏晓翔
仪器工作状态 正常 预约形式 可不预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 室内分析测试设备 仪器中类 电化学仪器 仪器小类 其他电化学仪器
仪器主要功能及描述
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 固态 刻蚀 用户指定 用户指定 0

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