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LIGA和光刻系统(物质区域中心)(非标)

2018-01-23 15:13:16

仪器名称 LIGA和光刻系统(物质区域中心) 仪器型号 非标
所属单位 高能物理研究所 所属区域中心 北京物质和纳米科学大型仪器区域中心
制造商名称 中国科学院高能物理研究所 国别 中国
购置时间 1989/10/19 放置地点 15号厅
预约审核人 王波 操作人员 王波
仪器工作状态 正常 预约形式 必须预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 大科学装置 仪器中类 大科学装置 仪器小类 同步辐射装置
仪器主要功能及描述
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 固态 X射线及紫外光曝光 用户指定 用户指定 0

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