仪器名称 | 场发射扫描电子显微镜 | 仪器型号 | Sirion 200 |
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所属单位 | 固体物理研究所 | 所属区域中心 | 合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心 | ||
制造商名称 | 美国FEI公司 | 国别 | 美国 | ||
购置时间 | 2004/12/01 | 放置地点 | 3号楼104 | ||
预约审核人 | 孔明光 | 操作人员 | 孔明光 | ||
仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 必须预约 | ||
预约类型 | 时间预约 | ||||
仪器大类 | 室内分析测试设备 | 仪器中类 | 显微镜及图象分析仪器 | 仪器小类 | 电子显微镜 |
仪器主要功能及描述 | 【主要性能指标】 (1)分辨率:1.5 nm(>10 kV),2.5 nm(1 kV),3.5 nm(500V);(2)加速电压:200V—30 kV;(3)电子枪:高稳定性In-house Schottky场发射电子枪;(4)最大电子束流:22 nA。 【仪器附件】 (1)Oxford INCA能谱仪:Si(Li)探测器;(2)超ATW窗口,10mm2 活区,分辨率(MnKa):133 eV,分析元素:Be4—U92。 (2)牛津EBSD系统 【主要用途】 观察材料表面的微细形貌、断口及内部组织;金属镀层厚度及各种固体材料膜层厚度的测定;材料表面微区成分进行定性和定量分析,材料表面元素的面、线、点分布分析。 | ||||
备注 |
序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
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1 | 固体 | EBSD分析 | 用户指定 | 用户指定 | 200 |
2 | 材料微结构分析 | 扫描电镜能谱分析 | 用户指定 | 用户指定 | 100 |
3 | 材料微结构分析 | 扫描电镜能谱分析 | 用户指定 | 用户指定 | 100 |
4 | 材料微结构分析 | SEM表面形貌结构表征 | 用户指定 | 用户指定 | 360 |
5 | 材料微结构分析 | SEM表面形貌结构表征 | 用户指定 | 用户指定 | 300 |
6 | 材料微结构分析 | 仪器保养 | 用户指定 | 用户指定 | 0 |
7 | 材料微结构分析 | 元素成分线、面分布能谱分析 | 用户指定 | 用户指定 | 100 |
8 | 材料微结构分析 | SEM表面形貌结构表征 | 用户指定 | 用户指定 | 300 |
同位素质谱仪 MAT253(MAT253)
X射线衍射仪(Ultima IV)
气相色谱-质谱联用仪(Sturn 2000)
超快速高分离液相色谱仪(Prominence UFLC XR)
流动分析仪Skalar(1)(San++System)
流动分析仪Skalar(2)(San++System)
透射电子显微镜(H-7500)
Delta S气体同位素质谱仪(Delta S)
元素分析-同位素质谱分析联用仪(Flash-2000 Delta V ADVADTAGE)
热表面电离质谱计(IsoProbe-T)(IsoProbe-T)
LB6411中子剂量率探测器德国伯托BERTHOLD
LB6500-4-H10剂量率探头德国伯托BERTHOLD
LB761低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB134剂量率监测器德国伯托BERTHOLD
LB2046便携式αβ测量仪德国伯托BERTHOLD
LB761低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB790低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB1343污染测量仪德国伯托BERTHOLD
LB147手脚衣物污染监测仪德国伯托BERTHOLD
LB124SCINT便携式污染测量仪德国伯托BERTHOLD