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场发射扫描电子显微镜(Sirion 200)

2018-01-23 15:12:16

仪器名称 场发射扫描电子显微镜 仪器型号 Sirion 200
所属单位 固体物理研究所 所属区域中心 合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心
制造商名称 美国FEI公司 国别 美国
购置时间 2004/12/01 放置地点 3号楼104
预约审核人 孔明光 操作人员 孔明光
仪器工作状态 正常 预约形式 必须预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 室内分析测试设备 仪器中类 显微镜及图象分析仪器 仪器小类 电子显微镜
仪器主要功能及描述 【主要性能指标】 (1)分辨率:1.5 nm(>10 kV),2.5 nm(1 kV),3.5 nm(500V);(2)加速电压:200V—30 kV;(3)电子枪:高稳定性In-house Schottky场发射电子枪;(4)最大电子束流:22 nA。 【仪器附件】 (1)Oxford INCA能谱仪:Si(Li)探测器;(2)超ATW窗口,10mm2 活区,分辨率(MnKa):133 eV,分析元素:Be4—U92。 (2)牛津EBSD系统 【主要用途】 观察材料表面的微细形貌、断口及内部组织;金属镀层厚度及各种固体材料膜层厚度的测定;材料表面微区成分进行定性和定量分析,材料表面元素的面、线、点分布分析。
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 固体 EBSD分析 用户指定 用户指定 200
2 材料微结构分析 扫描电镜能谱分析 用户指定 用户指定 100
3 材料微结构分析 扫描电镜能谱分析 用户指定 用户指定 100
4 材料微结构分析 SEM表面形貌结构表征 用户指定 用户指定 360
5 材料微结构分析 SEM表面形貌结构表征 用户指定 用户指定 300
6 材料微结构分析 仪器保养 用户指定 用户指定 0
7 材料微结构分析 元素成分线、面分布能谱分析 用户指定 用户指定 100
8 材料微结构分析 SEM表面形貌结构表征 用户指定 用户指定 300

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