| 仪器名称 | 感应耦合等离子体硅深刻蚀系统 | 仪器型号 | ICP180 |
|
|
| 所属单位 | 合肥智能机械研究所 | 所属区域中心 | 合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | oxford instruments | 国别 | 英国 | ||
| 购置时间 | 2003/06/30 | 放置地点 | 智能所实验大楼净化室 | ||
| 预约审核人 | 倪林 | 操作人员 | 倪林 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 必须预约 | ||
| 预约类型 | 项目预约 | ||||
| 仪器大类 | 室内分析测试设备 | 仪器中类 | 其他通用科学仪器设备 | 仪器小类 | 其他 |
| 仪器主要功能及描述 | |||||
| 备注 | |||||
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 高深宽比的硅微结构加工 | 硅深刻蚀系统 | 用户指定 | 用户指定 | 800 |
| 2 | 高深宽比的硅微结构加工 | 硅深刻蚀系统 | 用户指定 | 用户指定 | 800 |
同位素质谱仪 MAT253（MAT253）
X射线衍射仪（Ultima IV）
气相色谱-质谱联用仪（Sturn 2000）
超快速高分离液相色谱仪（Prominence UFLC XR）
流动分析仪Skalar(1)（San++System）
流动分析仪Skalar(2)（San++System）
透射电子显微镜（H-7500）
Delta S气体同位素质谱仪（Delta S）
元素分析-同位素质谱分析联用仪（Flash-2000 Delta V ADVADTAGE）
热表面电离质谱计(IsoProbe-T)（IsoProbe-T）
LB6411中子剂量率探测器德国伯托BERTHOLD
LB6500-4-H10剂量率探头德国伯托BERTHOLD
LB761低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB134剂量率监测器德国伯托BERTHOLD
LB2046便携式αβ测量仪德国伯托BERTHOLD
LB761低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB790低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB1343污染测量仪德国伯托BERTHOLD
LB147手脚衣物污染监测仪德国伯托BERTHOLD
LB124SCINT便携式污染测量仪德国伯托BERTHOLD
