高低温半自动探针台（A）（PA300IS）

2018-01-18 09:43:57

仪器名称	高低温半自动探针台（A）	仪器型号	PA300IS
所属单位	微电子研究所	所属区域中心	北京信息电子技术大型仪器区域中心
制造商名称	CASCADE	国别	美国
购置时间	2009/10/13	放置地点	净化实验室
预约审核人	李晶	操作人员	王芳,李晶
仪器工作状态	正常	预约形式	必须预约
预约类型	时间预约
仪器大类	室内分析测试设备	仪器中类	其他通用科学仪器设备	仪器小类	其他
仪器主要功能及描述	灵活的300毫米半自动探测器的高精度定位。德国苏斯微技术开发出了支持300mm晶圆的三维层叠组件用测试系统。该系统可在晶圆级别上对最终封装工序前的三维层叠组件进行探针检测。此次的测试系统装有可使探针沿垂直方向准确移动的机构。能够对准位置并补正温度。采用了可使探针发出的信号不受EMI影响的技术，还通过减小探针触击力量，降低了对组件的影响 Chuck Stage Travel range in X and Y X/Y维度：300 mm x 300mm Resolution分辨率： 0.5 μm Repeatability重复性： ± 1 μm Accuracy精度：± 2 μm Planarity平面： ± 15 μm Maximum speed最大速度： 50 mm / sec Z Movement Z运动 Travel range行程：10 mm Resolution分辨率： 0.25 μm Repeatability重复性：± 1 μm Theta Movement Travel ：± 5° Resolution分辨率： 0.0001° Programmable Microscope Movement (Recommended) Travel range： 50 mm x 50 mm Resolution分辨率： 0.25 μm Repeatability重复性： ± 1.0 μm Accuracy精度： ± 2.5 μm Access lift ：130 mm Manual Platen Movement Drive type驱动类型： Handwheel手轮 Contact / separation stroke接触/分离冲程：0.4 mm Travel： 35 mm Remote Interfaces远程接口 PC ：RS232, IEEE488, LAN, TTL, GPIB Electronics电子器件： IEEE488, TTL, GPIB Utilities Power电源： 115 / 230 V, 50 / 60 Hz, 600 W (maximum 1500 VA) Vacuum真空度： Less than 200 mbar abs. Compressed air压缩空气： 6-10 bar
备注

仪器收费信息

序号	样品分类	分析项目	前处理标准名称	分析项目标准名称	对外服务价格
1	12寸晶圆及以下	半自动探针台常温测试	用户指定	用户指定	550
2	12寸晶圆及以下	半自动探针台高低温测试	用户指定	用户指定	627