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ICP-电感耦合等离子体刻蚀系统-Sentech1#【D】 (SI500)

2018-01-18 09:41:23

仪器名称 ICP-电感耦合等离子体刻蚀系统-Sentech1#【D】 仪器型号 SI500
所属单位 微电子研究所 所属区域中心 北京信息电子技术大型仪器区域中心
制造商名称 Sentech 国别 德国
购置时间 2012/06/12 放置地点 中科院微电子所
预约审核人 樊捷 操作人员 樊捷
仪器工作状态 正常 预约形式 必须预约
预约类型 时间预约    
仪器大类 室内分析测试设备 仪器中类 光谱仪器 仪器小类 其他光谱仪器
仪器主要功能及描述
备注

仪器收费信息
序号 样品分类 分析项目 前处理标准名称 分析项目标准名称 对外服务价格
1 固态 刻蚀 用户指定 用户指定 1000

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