| 仪器名称 | 6300电子束曝光设备（纳米区域中心） | 仪器型号 | JBX-6300FS |
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| 所属单位 | 物理研究所 | 所属区域中心 | 北京物质和纳米科学大型仪器区域中心 | ||
| 制造商名称 | 日本电子 | 国别 | 日本 | ||
| 购置时间 | 2012/10/22 | 放置地点 | 北京市海淀区中关村南三街8号中国科学院物理研究所M楼 | ||
| 预约审核人 | 唐成春 | 操作人员 | 唐成春,金爱子,谭福涛,杨海方 | ||
| 仪器工作状态 | 正常 | 预约形式 | 可不预约 | ||
| 预约类型 | 时间预约 | ||||
| 仪器大类 | 工艺实验设备 | 仪器中类 | 电子与通信科学仪器设备 | 仪器小类 | 电子工艺实验设备 |
| 仪器主要功能及描述 | |||||
| 备注 | 已安装新刷卡器 | ||||
| 序号 | 样品分类 | 分析项目 | 前处理标准名称 | 分析项目标准名称 | 对外服务价格 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 固体 | 曝光 | 用户指定 | 用户指定 | 0 |
Delta S气体同位素质谱仪（Delta S）
热表面电离质谱计(IsoProbe-T)（IsoProbe-T）
5400氩低分辨率静态真空质谱计（MM5400）
电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）（Element）
JXA8100型电子探针分析仪（JXA8100）
MAT 252气体同位素质谱仪（MAT 252）
二次离子质谱仪（SIMS）（IMS 1280）
粒子测量系统（PMS）
扫描电子显微镜 (SEM)（LEO 1450VP）
MAT 253气体同位素质谱仪（MAT 253）
LB6411中子剂量率探测器德国伯托BERTHOLD
LB6500-4-H10剂量率探头德国伯托BERTHOLD
LB761低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB134剂量率监测器德国伯托BERTHOLD
LB2046便携式αβ测量仪德国伯托BERTHOLD
LB761低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB790低本底放射性测量仪德国伯托BERTHOLD
LB1343污染测量仪德国伯托BERTHOLD
LB147手脚衣物污染监测仪德国伯托BERTHOLD
LB124SCINT便携式污染测量仪德国伯托BERTHOLD
