场发射扫描电子显微镜-聚焦离子束系统（Zeiss Crossbeam 540）

2018-01-09 15:51:52

仪器名称	场发射扫描电子显微镜-聚焦离子束系统	仪器型号	Zeiss Crossbeam 540
所属单位	上海应用物理研究所	所属区域中心	上海材料与制造大型仪器区域中心
制造商名称	卡尔蔡司	国别	德国
购置时间	2016/08/15	放置地点	嘉定园区电子学楼108实验室
预约审核人	王羽	操作人员	王羽,孙静雯
仪器工作状态	正常	预约形式	必须预约
预约类型	时间预约
仪器大类	室内分析测试设备	仪器中类	显微镜及图象分析仪器	仪器小类	其他显微镜及图象分析仪器
仪器主要功能及描述	主要功能：TEM样品制备；二维与三维表征；纳米加工技术指标： 1. 电子束分辨率：20.9nm@15KV；1.8nm@1KV 2. 离子束分辨率：4nm；离子束加速电压0.5-30KV；； 3. 加速电压：电子束0.02-30KV；离子束0.5-30KV 4. 探测器：In-lens二次电子探测器；EsB镜筒内能量选择背散射电子探测器；E-T二次电子探测器；样品室内背散射电子探测器；样品室内外红外CCD. 5. 气体注入系统（5支）：Pt沉积气体、W沉积气体、C沉积气体，金属增强蚀刻气体、氧化物增强蚀刻气体等。
备注

仪器收费信息

序号	样品分类	分析项目	前处理标准名称	分析项目标准名称	对外服务价格
1	固体或者粉末	三维重构	用户指定	用户指定	15000
2	固体或者粉末	纳米加工（沉积、刻蚀）	用户指定	用户指定	1200
3	固体或者粉末	TEM样品制备	用户指定	用户指定	4000
4	固体或者粉末	二维形貌表征（含EDS）	用户指定	用户指定	250