仪器名称:脉冲激光溅射沉积系统
仪器型号:极限真空度6.67×10-5Pa PLD-300B
仪器类型:电子产品通用工艺实验设备
应用领域:物理学材料科学
所属单位:河北大学
仪器产地:中国
仪器价值:23.5万
仪器购买时间:2008-12-16
主要技术指标
极限真空度:≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后);系统真空检漏漏率:≤5.0x10-7 Pa.l/S;系统从大气开始抽气,20分钟可达到5x10-3 Pa;激光入射口到地面的距离为1200mm
主要功能/应用范围
可用于各种纳米材料薄膜制备
服务内容
暂无
服务的典型成果
暂无
对外开放共享规定
不共享
参考收费标准
暂无
共享仪器单位信息仪器联系人:
王英龙
联系电话:
13582086225
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传 真:
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