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脉冲激光溅射沉积系统(极限真空度6.67×10-5Pa PLD-300B)

2017-12-15 10:30:45
脉冲激光溅射沉积系统 [型号:极限真空度6.67×10-5Pa PLD-300B]

仪器名称:脉冲激光溅射沉积系统

仪器型号:极限真空度6.67×10-5Pa PLD-300B

仪器类型:电子产品通用工艺实验设备

应用领域:物理学材料科学

所属单位:河北大学

仪器产地:中国

仪器价值:23.5万

仪器购买时间:2008-12-16

主要技术指标

极限真空度:≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后);系统真空检漏漏率:≤5.0x10-7 Pa.l/S;系统从大气开始抽气,20分钟可达到5x10-3 Pa;激光入射口到地面的距离为1200mm

主要功能/应用范围

可用于各种纳米材料薄膜制备

服务内容

暂无

服务的典型成果

暂无

对外开放共享规定

不共享

参考收费标准

暂无

共享仪器单位信息

仪器联系人:

王英龙

联系电话:

13582086225

电子邮箱:

传  真:

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